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    光學薄膜測量綜合實驗

    RLE-RI03 光學薄膜測量綜合實驗

    實驗簡介

      伴隨著21世紀初光電子技術的雪崩式發展,光學薄膜器件的應用向著性能要求和技術難度更高、應用范圍和知識領域更廣、器件種類和需求數量更多的方向迅速發展。為了使學生適應發展需求、拓展知識范圍、增加知識深度、開闊視野和提升能力,RealLight?開發了光學薄膜測量綜合實驗,針對市場上常用的鍍膜片進行研究,從鍍膜的原理到實際樣品的測試,逐步深入,是學生了解光學鍍膜原理和應用的必然之選。

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    實驗內容

    1、光譜儀的原理與使用實驗;

    2、白光干涉測薄膜厚度實驗;

    3、鍍膜介質折射率測量實驗;

    4、單層膜特性模擬實驗;

    5、減反射膜模擬與測試實驗;

    6、增反射膜模擬與測試實驗;

    7、截止濾光片模擬與測試實驗;

    8、帶通濾光片模擬與測試實驗;

    9、分光鏡模擬與測試實驗;

    10、帶通濾光片的角特性實驗。


    知識點

    減反射膜、加反射膜、金屬膜、分光鏡、二向色鏡、帶通濾光片、白光干涉、薄膜測厚、能量比、反射率、透過率

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    選配設備參數

    計算機(基本配置)。

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    主要設備參數

    1.光源組件:

    尺寸:190x150x66mm,光譜范圍:360-2500nm,輸出燈泡:6Watts3.5mW after 400umfiber),穩定性:0.2% RMS,漂移:0.3% per hour,穩定時間:15min,壽命:2000hrs(燈泡),色溫:3000K,工作溫度:5~40℃,溫度要求:5%~95%,供電:220V/AC,輸出方式:SMA905,工作模式:恒流、緩啟動功能。

    2.探測器組件:

    波長范圍:350~1000nm;光學分辨率:1nm;狹縫:25μm;光纖連接器:SMA905;探測器:?2048像元陣列CCD,每個像元14um×200um;信噪比:20001;全光譜;A/D分辨率:12bit;積分時間:4ms~6.5s;USB通訊與供電,無需外部電源;通過CE認證;具備外觸發功能;功耗:250mA,5VDC;尺寸:91mm×60mm×34.5mm;重量:0.3kg。

    3.薄膜測試樣品:

    減反射膜:鍍單層氟化鎂,全波段增透,透過率增加3%;

    介質高反膜:*大反射率95%,基材:青板;45°入射;

    二向色鏡:透紅綠反藍,透紅反綠;S1AR420-680nm@R<1%,S2面二向分光膜;工作波段透射平均值T>95%,工作波段反射平均值R>95%;

    帶通濾光片:IAD多層介質硬膜,波峰透過T>85%,帶外截止深度OD2-OD4;

    分光鏡:工藝方式IAD多層介質硬膜;S1面,AR膜工作波段鍍AR膜,R<0.5%;S2面,分光膜;工作波段鍍分光膜,誤差±2%。

    4.輻射式積分球:

    使用高反射率漫反射涂料Spectraflectò,有效光譜范圍:350-2400nm,反射率>98%@600nm,熱穩定性100℃,激光損傷閾值1.7J/cm2,內徑50mm,兩開口,采樣口配置防塵蓋和SMA905適配器,矩形外形設計,便于加持使用。

    5.反射式光纖:

    反射式光纖跳線:探頭端部采用61光纖束設計,6根照明光纖,中央1根光纖收集反射光;

    光纖芯徑:200μm;數值孔徑:0.22NA;長度:2m長;鎧甲護套;SMA905接頭。

    6.光纖準直鏡:

    適用波段:200~2500nm,Φ6mm通光口徑,SMA905接口,焦長12.7mm,帶微調;

    7.光纖跳線:

    光纖芯徑:400μm;數值孔徑:0.22NA;長度:100±10cm;3mm鎧甲護套;SMA905接頭。

    8.軟件:

    8-1薄膜測厚軟件:包含光譜預處理方法、回歸算法、擬合算法、傅立葉變換信號處理算法、*小二乘算法,分步測量引導,薄膜測量厚度范圍50nm~50μm。

    8-2鍍膜仿真與設計軟件組件

    1)主界面4大功能分區,包括單層膜、減反射膜、介質高反膜和濾光片;

    2)均可設置基底、介質和介質折射率,改變參數,反射率透過率曲線實時更新。

    9.實驗手冊及保修卡。


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